半導體相關設備
UV LED 晶圓曝光機・紫外線量測
LED 型面曝光機（晶圓曝光機）、紫外線光度計 X-11 與紫外線感測頭 RCH-016／RCH-116
LED型面曝光機（晶圓曝光機）
- 使用於晶圓曝光機LED型紫外線曝光機，波長275、265、395、405nm
- 適用尺寸6吋、8吋、12吋
- 均勻性90%，500mJ~2000mJ
- 供應商：Phoseon (美國)
紫外線光度計 X-11
- 手持或自動測量紫外線照度值或積光量值
- 自動控制界面USB, RS232, 具備AI資料控管能力
- 一台對4組感測頭
- 供應商：Gigahertz (德國)
紫外線感測頭 RCH-016
- 紫外線感測頭搭配可撓式線材
- 體型小容易安裝在設備機台上
- 耐高溫、耐酸鹼
- 供應商：Gigahertz (德國)
紫外線感測頭 RCH-116
- 紫外線感測頭搭配不锈鋼棒
- 體型小容易手持測量
- 棒體長測量時保護人體安全
- 供應商：Gigahertz (德國)
