半導体関連装置
UV LEDウェハー露光装置・紫外線測定
LED面露光装置（ウェハー露光装置）、紫外線照度計X-11、紫外線センサーRCH-016／RCH-116
LED面露光装置（ウェハー露光装置）
- ウェハー露光用のLED紫外線露光装置。波長275・265・395・405nm
- 対応サイズ：6インチ・8インチ・12インチ
- 均一性90%、500～2000mJ
- メーカー：Phoseon（米国）
紫外線照度計 X-11
- 紫外線照度・積算光量をハンディまたは自動で測定
- USB・RS232の自動制御インターフェース、データ管理機能付き
- 1台でセンサー4個に対応
- メーカー：Gigahertz-Optik（ドイツ）
紫外線センサー RCH-016
- フレキシブルケーブル付き紫外線センサー
- 小型で装置への取付が容易
- 耐高温・耐酸・耐アルカリ
- メーカー：Gigahertz-Optik（ドイツ）
紫外線センサー RCH-116
- ステンレスロッド付き紫外線センサー
- 小型でハンディ測定が容易
- 長いロッドで測定時の作業者の安全を確保
- メーカー：Gigahertz-Optik（ドイツ）
